SK 海力士，海力环保化氮作为全球领先的士用半导体制造商，近期在环保领域迈出了重要一步，更加工艺邵东县旅游租车宣布在其芯片生产的氟代氟关键清洗工艺中，将采用更为环保的气替清洁气体——氟气（F2）来替代传统的三氟化氮（NF3）。这一举措不仅彰显了SK 海力士对环境保护的用于坚定承诺，也标志着半导体行业向绿色生产迈出的芯片新步伐。

据SK 海力士2024年可持续发展报告披露，海力环保化氮过去，士用邵东县旅游租车公司在芯片生产过程中使用三氟化氮作为清洗气体，更加工艺以有效去除沉积过程中腔室内残留的氟代氟杂质。然而，气替清洁三氟化氮的用于全球变暖潜能值（GWP）高达17200，对环境构成较大压力。芯片为了减轻这一影响，海力环保化氮SK 海力士积极探索并成功实施了氟气替代方案。氟气不仅具有优异的清洗效果，其GWP值更是低至0，从源头上降低了生产过程中的温室气体排放。

此外，SK 海力士还进一步加大了氢氟酸（HF）的使用量，这种气体在低温蚀刻设备中表现出色，且其GWP值仅为1或更低，远远优于过去用于NAND通道孔蚀刻的氟碳气体。这一系列环保措施的实施，不仅提升了SK 海力士的生产效率，更在保护地球环境方面发挥了积极作用。

SK 海力士的这一转型，不仅是对自身可持续发展的负责任态度，也为整个半导体行业树立了绿色生产的典范。未来，随着更多企业加入到环保生产的行列中来，半导体行业将迎来更加绿色、可持续的发展前景。